产品简介
该仪器为接触式测量。X轴采用高精密的摩擦导轨为基准,Z1轴采用数字传感器,触针轻触表面,传感器记录初始位置,驱动机构带动测头沿设定路径移动,触针随表面起伏,传感器实时记录触针位移,测绘出被测零件的表面轮廓形状的坐标点,通过计算机的软件对传感器采集的原始数据进行数学运算处理,标注所需的测量项目。广泛应用于机械制造,汽车工业,航空航天,电子元器件等领域。用于检测工件的轮廓精度,表面形状误差等。
产品优势
1. 接触式测量通过探针接触物体表面,记录探针的位移变化生成轮廓曲线,精度高(可达纳米级),但可能划伤软性材料
2. 原始数据可以导出保存,便于多次标注
3. 具有测针自动接触、自动抬起、自动回退功能
4. 无需转换传感器、测针;实现一次测量,粗糙度、轮廓仪同时分析
5. 一次测量,可分析工件不同区域粗糙度,提高测量效率
6. X轴采用低摩擦直线导轨,精度高,寿命长,稳定性极佳
7. X-Z1轴采用高精度传感器,精度高、线性好
8. 支持图形自由旋转摆正
9. 通过测针的跟踪,可检测工件的最大点,易于位置调节
10.软件自动记录初次工件摆正位置
应用领域
1、工业制造:检测机械零件的尺寸、圆度、直线度粗糙度,验证模具、齿轮、螺纹的加工精度。
2、半导体与电子:测量晶圆表面平坦度、刻蚀深度,PCB焊点高度检测,测量芯片、电路板等微小元件的轮廓精度。
3、光学与医疗:镜头曲率、光纤端面形貌分析,人工关节表面抛光质量检测。
4、科研领域:材料表面微观结构分析(如摩擦学、涂层研究)。
5、汽车工业:测量发动机零件、齿轮、轴承等关键部件的轮廓。
6、航空航天:检测飞机发动机叶片、机身结构等复杂形状。
基本原理
测量软件
软件界面设计简洁,布局合理。采用最新架构和设计风格,用户极易上手,轮廓测量和粗糙度测量可同时进行
技术规格
轮廓参数 | 测量范围 | X轴 | 100mm (分辨率0.1μm) |
Z轴 | 500mm | ||
Z1轴 | 40mm(分辨率0.05μm) | ||
轮廓精度
| X轴示值误差 | ≤(0.8+0.03L)μm | |
Z1轴示值误差 | ≤(0.8+|0.08H|)μm | ||
圆弧测量误差 | ≤(1.2+R/8)μm | ||
角度精度 | ≤±1′ | ||
直线度 | 0.8μm/100mm | ||
粗糙度部分 | 残值噪声 | ≤0.010μm | λc 为0.08mm,测量速度 为 0.1mm/s,测量平晶 |
粗糙度测量重复性 | 1δ≤2nm | 采用 Ra 为0.35-0.5μm 的方波标准件 | |
粗糙度示值误差 | ≤±(10nm+3.5%) | ---------- | |
粗糙度示值稳定性 | ≤±7% | ---------- | |
粗糙度测量重复性
| ±3% | ---------- | |
评定长度 | λc×1、2、3、4、5、6、7 | ---------- | |
截止波长 | 0.025、0.08、0.25、0.8、2.5、8mm | ---------- | |
滤波器 | Gaussian Filter | ---------- | |
爬坡角度 | 向上77°、向下88° | ---------- | |
测量速度 | 0.02~5.0mm/s | ---------- | |
测量方式 | 传感器移动 | ---------- | |
XZZ1 | 三轴电动控制 | 软件手柄都可控制 | |
电源 | AC 220V±10% 50Hz | ---------- | |
环境要求 |
以上参数均在 20℃± 2℃,相对湿度(RH):40%-60% RH 使用标准器具下测得
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配置清单
序号 | 名称 | 数量 | 单位 | 备注 |
1 | 主机 | 1 | 台 | / |
2 | 电脑 | 1 | 个 | / |
3 | 显示器 | 1 | 个 | / |
4 | 鼠标/键盘 | 1 | 个 | / |
5 | 测量软件 | 1 | 份 | / |
6 | 工具箱 | 1 | 个 | / |
7 | 加密狗 | 1 | 个 | / |
8 | 产品说明书 | 1 | 份 | / |
9 | 产品合格证、保修卡 | 1 | 份 | / |
10 | 轮廓标准器 | 1 | 套 | / |
11 | 标准治具 | 1 | 套 | / |
12 | 测杆 | 1 | 根 | / |
13 | 轮廓测针 | 2 | 根 | / |
14 | 粗糙度测针 | 1 | 根 | / |
15 | 设备插排 | 1 | 个 | / |
16 | 无线网卡 | 1 | 个 | / |
17 | 打印机 | 1 | 个 | / |
18 | 粗糙度样块 | 1 | 个 | / |